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潔凈室設計標準
ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標準規(guī)范
注:①每個采樣點應至少采樣3次;
?、诒緲藴什贿m用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性;
?、鄹鶕?jù)工藝要求確定1~2種粒徑;
?、芨鞣N要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式確定,要求的粒徑在0.1~5μm范圍,包括0.1μm及5μm。
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
N——潔凈度等級,數(shù)字不超出9,潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。
D——要求的粒徑(μm)。
0.1——常數(shù),其量綱為μm。
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